安徽大學是國家“雙一流”建設高校，國家“211工程”建設高校。近日，安徽大學就2022年集成電路先進材料與技術研究設施-光刻效果測量系統采購項目，發布采購預告，預計采購時間定于12月，總預算3690萬元人民幣。
光刻效果測量系統，主要用于8寸及以下硅晶圓的光刻工藝中的套刻對準精度、線寬、顯影和去膠效果的表征測量、以及對芯片進行損傷缺陷分析、分選等。需兼容第二代、第三代半導體材料以及電子元件產品的表征測量。
該系統包括：紅外線雙面套準檢測儀、四探針方阻測試儀、臺階儀、原子力顯微鏡、3D數碼顯微鏡、射頻芯片測試平臺、模擬測試系統、高帶寬混合示波器、音頻信號分析儀、高分辨率芯片顯微分析儀、集成電路修補檢測系統、芯片分選機、推拉力測試儀及相應測試儀表、X射線檢測儀、超聲波掃描顯微鏡等相關設備。
有興趣的企業不妨留意一下12月的采購信息。
另預告上還計劃：
11月采購“光刻加工系統”
10月采購“傳統封裝硅晶圓切割打標系統”
9月采購“智慧實驗室系統”
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