隨著超精密加工技術(shù)的不斷進(jìn)步，各種微納結(jié)構(gòu)元件廣泛應(yīng)用于超材料、微電子、航空航天、環(huán)境能源、生物技術(shù)等領(lǐng)域。其中超精密3D顯微測(cè)量技術(shù)是提升微納制造技術(shù)發(fā)展水平的關(guān)鍵，中圖儀器自主研發(fā)的白光干涉掃描和共聚焦3D顯微形貌檢測(cè)技術(shù)，廣泛應(yīng)用于涉足超精密加工領(lǐng)域的三維形貌檢測(cè)與表面質(zhì)量檢測(cè)方案。其中，VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結(jié)構(gòu)復(fù)雜且反射率低的表面3D微觀(guān)形貌重構(gòu)與檢測(cè)方面具有不俗的表現(xiàn)。

一.結(jié)構(gòu)深、角度大

電子產(chǎn)品中一些光學(xué)薄膜表面存在一些特殊的微結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)表現(xiàn)為窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉儀在測(cè)量此類(lèi)結(jié)構(gòu)時(shí)，由于形貌陡峭、角度大，無(wú)法形成干涉條紋信號(hào)，或條紋寬度過(guò)窄而無(wú)法準(zhǔn)確地解調(diào)出深度信息。

VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點(diǎn)光源的共軛共焦原理，其依托弱光信號(hào)解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)形狀。

二.反射差、信號(hào)弱

碳纖維紙類(lèi)的表面反射率極低，結(jié)構(gòu)復(fù)雜且呈立體狀。白光干涉儀因其對(duì)樣品表面反射形成的干涉條紋光信號(hào)對(duì)比度要求較高，而碳紙表面纖維絲的立體角度大，導(dǎo)致部分位置因反射率極低形成的干涉條紋對(duì)比度較低甚至無(wú)法形成干涉條紋，從而難以解調(diào)出深度信息。

VT6000系列共聚焦顯微鏡在此展現(xiàn)出其特有的弱光信號(hào)解析能力優(yōu)勢(shì)，對(duì)樣件表面的低反射率特性適應(yīng)能力更強(qiáng)。

中圖儀器以其自主研發(fā)的共聚焦顯微鏡，與早前推出的白光干涉儀一起，構(gòu)成光學(xué)3D顯微測(cè)量領(lǐng)域的姊妹雙姝，為國(guó)內(nèi)超精密加工與微納制造領(lǐng)域提供更全面、更專(zhuān)業(yè)的3D顯微形貌檢測(cè)方案。