全球幾乎所有晶圓廠都要求采用SEMI F47《半導體制程設備電壓暫降抗擾度規范》。SEMI F47 要求設備能夠免受交流電網中常見的電壓驟降的影響。

由于制造加工設備的高敏感性，目前市場上的制造工具對電力質量的要求很高。半導體加工設備尤其易受電壓驟降的影響，因為這些事件會導致工藝失敗。因此，這些精密設備所使用的電力系統的質量就顯得更為重要。

SEMI F47 規范定義了半導體加工和計量 /測試設備所需的最低電壓驟降抗擾度。

當前版本的 SEMI F47 規定了半導體制造過程中所用設備的最低電壓驟降抗擾度要求。抗擾度以電壓驟降深度和電壓驟降持續時間表示，以便在交流電源欠壓（暫降）不超過額定線電壓最大50%且持續時間最長1.7秒的停電事件中，設備能夠繼續無縫工作，不被中斷。該標準的詳細規定如下：

縱坐標軸：設備標稱電壓的百分比

橫坐標軸：電壓驟降持續時間

符合 SEMI F47 標準的電源必須采用專業優質的設計。 此外，由于晶圓廠的耗電量很大，對電力質量和功率效率的要求越來越高，因此電源本身也必須高效可靠。

EA Elektro-Automatik 作為高效直流電源供應商，可提供符合 SEMI F47 標準要求的電源。EA-10000 系列臺式和工業電源憑借碳化硅技術的出色性能，實現了高達 96% 的效率，并能承受規定的電壓驟降。SEMI F47 是電源的一項內置功能，可使半導體制程的工藝更加可靠。

EA-10000 系列和 EA-10000工業系列采用先進的能量緩沖功能，即使交流電壓出現波動也能確保穩定的直流輸出。EA-10000 系列允許制程設備設計師在兩種運行模式之間進行選擇。

在SEMI F47兼容模式下，最大輸出功率會進行調整，以保證電壓驟降時的可靠性和直流輸出的穩定性。

對于需要全功率且直流輸出波動可接受的應用，還提供了一種附加模式。該模式支持電網監控和低電壓穿越功能，可保持全功率運行，適用于可承受短暫直流輸出變化的工藝（比如熱應用）。

用戶可自行決定是否使用這兩項SEMI F47 功能中的一項。 這兩項功能可作為設備菜單中的可調參數進行選擇。 對于EA-10000 系列，可直接在前面板觸摸顯示屏上進行此操作。 對于EA-10000工業系列，可通過 EAPC 等控制軟件遠程設置該功能。

EA-10000 和 EA-10000 工業系列電源是提高半導體制程設備和工具工藝品質的最佳選擇。