總部位于馬來西亞的全球半導體和MEMS代工廠SilTerra近日宣布，可以基于CMOS平臺提供PMUT（壓電式MEMS超聲波換能器）制造工藝。客戶現在即可使用SilTerra的單片集成PMUT工藝設計指南進行換能器芯片設計，以滿足新興的超聲波傳感應用需求。作為大規模生產PMUT器件計劃的一部分，SilTerra以類似于其它CMOS工藝（例如SRAM，MIM和HRPoly）的模塊化概念，開發并驗證了PMUT器件。因此，MEMS設計人員和ASIC設計人員都可以靈活地使用這些CMOS和MEMS工藝設計指南來開發其產品原型，并加快批量生產的時間。

SilTerra新工藝平臺打造的PMUT器件

SilTerra在PMUT器件制造工藝中引入了新選項，客戶現在可以選擇使用純氮化鋁（AlN）或摻鈧氮化鋁（ScAlN）薄膜作為超聲波換能器的壓電層來制造其PMUT產品原型。SilTerra還為超聲波換能器設計提供建模和仿真服務，從而使客戶能夠快速驗證和優化他們的設計。

為了實現具有成本效益和設計靈活的產品原型制造服務，SilTerra向其客戶提供多層掩膜（MLM）方法，該方法可減少產品原型制造所需的掩模數量以及相關成本。

“汽車、消費和醫學成像應用的最新發展有望推動市場對超聲波傳感器的需求。我們正在世界一流的代工廠中提供具有成本效益的PMUT產品原型制造服務，以使我們的客戶能夠在短時間內將其產品推向上述市場。” SilTerra科學業務部MEMS和Sensor資深副總裁Arjun Kumar Kantimahanti說道。

SilTerra是一家半導體和MEMS晶圓代工廠，于2001年開始商業化生產，其代工廠位于馬來西亞的Kulim高科技園區，并在美國加州圣何塞和臺灣新竹設有銷售和營銷辦事處。SilTerra提供CMOS邏輯、高壓、混合信號和射頻器件制造和設計支持服務。

通過將其核心CMOS工藝擴展到硅光子、MEMS、BCD、電源和氮化鎵（GaN）等先進的“超越摩爾”技術中，SilTerra為消費電子、生命科學、數據通信、汽車和工業等領域開發未來的“希望之星”產品。作為一家純晶圓代工，SilTerra在IC Insights全球排名中位列第17位，其設計產能為每月46,000片8英寸晶圓，能夠支持尺寸小于90nm的技術。