11月24日，第三屆中國MEMS智能傳感器產業發展高峰論壇在安徽蚌埠召開。論壇期間，中國兵器工業集團有限公司第二一四研究所召開了“MEMS成套工藝及高性能慣性傳感器”產品發布會，正式推出了“基于微晶玻璃鍵合的SOI體硅工藝”“基于TSV-SOI的體硅工藝”等4套MEMS工藝體系。該工藝具有全硅低應力、亞微米高精度和晶圓級高真空封裝等三大技術特色，可為用戶提供一站式、全方位技術服務。
同時，該所還發布了12款高性能MEMS慣性傳感器。此次發布的12款高性能MEMS慣性傳感器包含高性能MEMS陀螺儀、高性能MEMS加速度計和特種裝置用大量程MEMS開關三類。其中高性能MEMS陀螺儀產品4款，量程覆蓋范圍400°/s-4000°/s，零偏穩定性（10s平滑）（1σ）優于1°/h；高性能MEMS加速度計3款，量程覆蓋范圍±2g-±100g，零偏穩定性（10s平滑）（1σ）小于20μg；特種裝置用大量程MEMS開關產品5款，量程覆蓋5000g、20000g及以上。此次發布的12款高性能MEMS慣性傳感器，其敏感結構及配套ASIC電路，為全國產化自主設計和生產，產品通過了中國儀器儀表學會組織的新產品鑒定，具有動態范圍大、精度高、高量程、抗高過載能力強等優點。
關于慣性傳感器
慣性傳感器是一種傳感器，主要是檢測和測量加速度、傾斜、沖擊、振動、旋轉和多自由度(DoF)運動，是解決導航、定向和運動載體控制的重要部件。
