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我國最大微納傳感器加工實驗室在湘潭大學落成

微納制造技術作為MEMS傳感器的實現手段,它直接決定了傳感器的性能與制作成本,是傳感器可產品化和批量化制造的前提。隨著MEMS微納制造技術的不斷進步,MEMS傳感器在航空航天、生化醫療、食品安全等領域得到廣泛的應用,特別是近幾年來伴隨著汽車電子產品和物聯網的快速發展,市場對不同類型和功能的MEMS傳感器需求量越來越大。


落成儀式現場


11月25日,湖南先進傳感與信息技術創新研究院核心實驗室,在湘潭大學正式落成。據悉,這是中南地區最大、屬于國內領先水平的微納器件加工實驗室。而湖南先進傳感與信息技術創新研究院,則是湖南省人民政府支持,投資1億元,由北京大學與湘潭大學合作共建,設立在湘潭大學的新型研發平臺。


在落成儀式上,擔任該研究院院長的中科院院士、北京大學教授彭練矛表示,該實驗室是我國最大、最先進的微納傳感器加工實驗室,包括百級、千級、萬級在內的核心超凈室1400平方米,及價值兩千余萬元的微納加工裝備。這為將來研究院成為全國乃至國際領先的傳感技術發源地打下了堅實的基礎。


未來,物聯網的發展將把包括人在內的萬物都聯系起來,其中最為核心的技術就是先進傳感和信息處理技術。


據了解,彭練矛院士團隊在碳基集成電路與納米器件研究領域處于國際前沿,其研究成果對于用碳納米管材料替代硅基材料制造電子產品芯片,從而突破傳統硅基材料物理極限,具有顛覆性意義,產業化前景巨大。


實驗室內景


研究院將依托彭練矛院士團隊的先導性技術優勢,建成碳基納米器件和新型傳感器研究的國內一流創新平臺,基于平臺,也有望研發出屬于我國自己的“中國芯”,形成一批具有國際影響的重大原始創新成果,并探索推動其在可穿戴電子產品、工業控制、人工智能、健康監測和醫療以及物聯網等的應用。


據介紹,此次落成的核心實驗室,即微納傳感器加工實驗室,包括百級、千級、萬級在內的超凈室約1500平方米,和一批先進的微納加工設備。超凈室最主要的作用在于控制產品所接觸大氣的潔凈度以及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產。


為推動湖南先進傳感與信息技術創新研究院建設,省科技廳將其列為了長株潭國家自主創新示范區重大標志性工程。目前,該研究院已引進包括中國科學院院士、國家優青等一批高端人才,招收了20余名博士、碩士研究生培養并開展科研,發表了20余篇較高水平的學術論文。


另外,該研究院還積極與企業進行了接洽,計劃在傳感器應用方面,與華為、京東方、旭海光電、中電集團等龍頭企業開展產學研合作,將基礎研究成果盡快推向市場。

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