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為什么中國(guó)造不出光刻機(jī)?制造光刻機(jī)的儀器儀表還未出世

2020年的9月15日,美國(guó)對(duì)華為的第三輪制裁正式生效,意味著華為不能再?gòu)呐_(tái)積電獲得最先進(jìn)的5nm生產(chǎn)工藝,對(duì)于華為來(lái)說(shuō)是一場(chǎng)毀滅性的災(zāi)難,對(duì)中國(guó)來(lái)說(shuō)也是一場(chǎng)特別的難題,是救華為還是跟進(jìn)美國(guó)對(duì)美國(guó)進(jìn)行制裁,估計(jì)是大家都義憤填膺,希望中國(guó)政府能夠采取強(qiáng)硬的措施回?fù)裘绹?guó)卑劣動(dòng)作,后面大家也就知道了,我們做了哪些措施,這里不再說(shuō)了。


我們來(lái)說(shuō)光刻機(jī)這塊,我們國(guó)內(nèi)大陸當(dāng)前最先進(jìn)的也是中芯國(guó)際14nm的工藝,但是使用了美國(guó)的技術(shù),不能為華為生產(chǎn)該級(jí)別的芯片。當(dāng)然光刻機(jī)巨頭是荷蘭的ASML,全球頂尖的光刻機(jī)生產(chǎn)商。光刻機(jī)是特別復(fù)雜的生產(chǎn)設(shè)備,里面包含德國(guó)頂尖的機(jī)械工藝和德國(guó)頂尖的光學(xué)儀器生產(chǎn)商蔡司的鏡頭、美國(guó)的光源等等,生產(chǎn)這些頂尖的部件需要頂尖的儀器儀表,當(dāng)前國(guó)內(nèi)儀器儀表距離歐美和日本有很大的差距。


如果說(shuō)設(shè)備是高樓大廈的話,那么儀器設(shè)備就是高樓大廈的地基,大廈有多高地基就得有相應(yīng)的深度和強(qiáng)度,換句話說(shuō)儀器設(shè)備是所有設(shè)備的基礎(chǔ)工具。是所有學(xué)科,包括化學(xué)、生物、物理等實(shí)驗(yàn)的開(kāi)胃菜。從另外一種邏輯來(lái)說(shuō),一個(gè)國(guó)家科技強(qiáng)不強(qiáng),儀器是特別重要的表征,而研究?jī)x表的技術(shù)是科學(xué)技術(shù)的建設(shè)。


但是我們從華為斷芯值看到了表面我們國(guó)家確實(shí)還沒(méi)有能力設(shè)計(jì)制造超強(qiáng)的光刻機(jī),實(shí)際上是儀器儀表的缺失。我們?cè)賲群皼](méi)有能力造芯缺沒(méi)有大張旗鼓去進(jìn)行高端儀表設(shè)備的設(shè)計(jì)和制造,而且很少看見(jiàn)新聞報(bào)告我們?cè)趦x表行業(yè)發(fā)展的現(xiàn)狀。


對(duì)于儀器儀表的人才,這個(gè)是基礎(chǔ)中的基礎(chǔ),國(guó)家對(duì)這個(gè)的重視,各大高校對(duì)這塊的重視基本是微乎其微,特別是高精尖的儀器儀表的人才,我們跟國(guó)外的差距,可能是好幾個(gè)數(shù)量級(jí)差距。


國(guó)家重視程度遠(yuǎn)沒(méi)有造芯那么來(lái)的直接,因?yàn)閮x表研究可能就沒(méi)有我們能夠直接看到的成果,很難做到國(guó)字頭的研究項(xiàng)目。據(jù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),2019年,國(guó)際子軟科學(xué)基金會(huì)一種支持國(guó)家重大科學(xué)儀器研制項(xiàng)目才82項(xiàng),費(fèi)用總共不到6億,而一臺(tái)EUV光刻機(jī)造價(jià)高達(dá)1.2億美金,連一臺(tái)極紫外光光刻機(jī)都買不到。同時(shí)2019年國(guó)家自然基金會(huì)213億的總經(jīng)費(fèi),6億元僅占2.7%,這個(gè)數(shù)據(jù)基本可以忽略不計(jì)的比例,同時(shí)也從這個(gè)數(shù)據(jù)看出,基金會(huì)的部署戰(zhàn)略不知道有沒(méi)有偏。


另外儀器儀表的研究是一項(xiàng)長(zhǎng)期效益性極低的經(jīng)濟(jì)活動(dòng),政府投入少,科研界多數(shù)只顧要快速出成果,企業(yè)更別提了能夠做的基本微乎其微。另外很多企業(yè)根據(jù)當(dāng)前的風(fēng)口在研究工業(yè)4.0,人工智能的儀表,是一個(gè)普遍的行業(yè)在做的工作,研發(fā)周期短回報(bào)速度快。


我國(guó)半導(dǎo)體、生命科學(xué)、納米領(lǐng)域以及醫(yī)院所有使用的高端光學(xué)顯微鏡基本被德國(guó)徠卡、蔡司、日本的尼康和奧林巴斯壟斷,國(guó)內(nèi)企業(yè)基本為領(lǐng)。即使高端也只是用在教育和科普相關(guān)工作。


這里只是皮毛中的皮毛,希望能夠讓大家掃盲,為什么光刻機(jī)我們現(xiàn)在造不出來(lái),制造光刻機(jī)的儀表未出世,設(shè)備、材料這些基礎(chǔ)材料需要突破和研究,時(shí)間不是一天兩天能研究出來(lái)。


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