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高精密鍍膜裝置在先進光源技術研發與測試平臺正式運行

在慶祝中國共產黨百年華誕之際,由國家發改委立項支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步輻射光源(HEPS)首臺科研設備于6月28日上午安裝,為其提供技術研發與測試支撐能力的先進光源技術研發與測試平臺(PAPS)啟動試運行。其中,中科科儀控股公司中科科美研制的直線式勞埃透鏡鍍膜裝置及納米聚焦鏡鍍膜裝置也于同一天正式投入使用。



直線式勞埃透鏡鍍制裝置及納米聚焦鏡鍍制裝置可實現各類高能物理裝置聚焦鏡、單色鏡、勞埃鏡、納米聚焦鏡等膜層制備。在兩裝置研制過程中,中科科美突破了多項先進制造技術:

精密加工制造技術,實現大型真空腔室及復雜運動系統精密加工與裝配、減震及超潔凈等嚴苛設計指標;

大型真空系統超高真空獲得技術,實現結構復雜、內部零部件放氣量大的大型真空腔室系統極限真空度達到10-6Pa;

高精度直線運動控制技術,實現長距離導軌運行平行度達到微米量級、運動系統速率穩定性控制在千萬之一以內;

復雜鍍膜工藝技術,實現高精度納米量級萬層鍍膜工藝,膜厚精度控制在0.1納米以內。


經相關主管部門和院所專家委員會現場測試,高精密鍍膜裝置結構設計合理、制造工藝先進、主要性能指標達到國際同類產品水平,填補了該領域內多項國內技術空白。


直線式勞埃透鏡鍍制裝置


HEPS是國家“十三五”重大科技基礎設施項目之一,該項目于2019年6月29日開工建設,建設周期6.5年。建成時,HEPS將成為中國第一臺高能量同步輻射光源之一,為基礎科學和工程科學領域原創性、突破性創新研究提供重要支撐平臺。中科科儀控股公司中科科美憑借在真空系統集成領域深厚的專業技術積淀、強大的整體方案解決能力和一站式服務能力參與到該項目中,為國家重大科技基礎設施項目實施和技術攻關貢獻了力量。

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