2026年1月15日，云際芯光（珠海）微電子有限公司投資建設(shè)的珠海首條自主建設(shè)的6英寸MEMS芯片生產(chǎn)線在金灣區(qū)建成通線。該產(chǎn)線位于金灣區(qū)三灶鎮(zhèn)定家灣片區(qū)，具備光刻、薄膜、刻蝕、鍵合、檢測(cè)等完整工藝環(huán)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)MEMS芯片的規(guī)模化生產(chǎn)。
MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)，是在微米到毫米尺度上，融合機(jī)械結(jié)構(gòu)與電子電路的集成化芯片或系統(tǒng)。它依托集成電路工藝，結(jié)合特殊加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)大批量、低成本制造，在極小尺寸內(nèi)完成傳感、制動(dòng)與控制功能。
該產(chǎn)線采用模塊化布局與高效動(dòng)線設(shè)計(jì)，旨在快速實(shí)現(xiàn)工藝導(dǎo)通與穩(wěn)定量產(chǎn)，為公司SMR濾波器、高基頻石英晶振等核心產(chǎn)品提供自主制造能力。“建設(shè)周期最短、通線速度最快”，云際芯光用這樣定義了MEMS產(chǎn)線建設(shè)的“珠海速度”“金灣效率”。
這條總投資超2.5億元的產(chǎn)線，是集研發(fā)、中試與量產(chǎn)于一體的綜合性平臺(tái)，配備百級(jí)/千級(jí)潔凈車間及全流程關(guān)鍵設(shè)備，形成完整MEMS芯片工藝能力。僅用約一年便完成全鏈條閉環(huán)，填補(bǔ)了珠海MEMS芯片制造環(huán)節(jié)的空白，盡顯“珠海速度”。
云際芯光成立于2023年11月，深耕壓電MEMS技術(shù)，組建40余人研發(fā)團(tuán)隊(duì)（博碩占比超80%），與天津大學(xué)共建研發(fā)中心形成閉環(huán)，累計(jì)提交專利30余項(xiàng)、獲授權(quán)8項(xiàng)。核心產(chǎn)品已應(yīng)用于低軌衛(wèi)星、5G通信等關(guān)鍵領(lǐng)域，為高端芯片國(guó)產(chǎn)替代提供本土方案。公司聚焦壓電MEMS技術(shù)，已形成四大產(chǎn)品方向：
● SMR濾波芯片：應(yīng)用于5G/6G、衛(wèi)星通信等領(lǐng)域，已推出50余款產(chǎn)品，頻率覆蓋1GHz-8.5GHz。
● PMEMS聲學(xué)傳感器：基于自主研發(fā)的IPP芯片架構(gòu)，性能媲美傳統(tǒng)陶瓷傳感器，且體積更小、可靠性更高，適用于水聽、測(cè)距、流量檢測(cè)等場(chǎng)景。
● 高基頻石英晶振：采用自主QMEMS工藝，頻率可達(dá)70-300MHz，其中156.25MHz產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)際主流型號(hào)的國(guó)產(chǎn)替代。
● 高精度壓力傳感器：目標(biāo)精度0.01%FS，適用于工業(yè)監(jiān)測(cè)、高端裝備等領(lǐng)域。
此次通線使云際芯光完成了從設(shè)計(jì)、工藝到制造的全鏈條閉環(huán)，大幅提升了公司的市場(chǎng)響應(yīng)速度與產(chǎn)品交付能力，為公司未來(lái)的高速發(fā)展引領(lǐng)市場(chǎng)奠定了堅(jiān)實(shí)的制造根基。
