近日，深圳市工信局就前段時間發布的《深圳市關于推動智能傳感器產業加快發展的若干措施》（征求意見稿）公布了多項修改措施。

意見稿公示期間，大疆、歡創科技、幀觀德芯等多家企業及組織機構提出了修改意見，深圳市工信局做出了增加標準、提高補助、降低部分門檻等多項修改，并于日前公布了修改情況。

附表：社會公眾意見采納情況表

深圳大疆創新科技有限公司

修改意見：

第七項 鼓勵開展車規認證 中提到 “鼓勵智能傳感器相關企業開展AEC-Q100（IC）、101（分立器件）、200（被動組件）可靠度標準”，建議此處是否可以考慮增加AEC-Q102、103、104標準。它們都是AEC-Q系列車規零部件認證標準，僅傾向不同器件類型；如AEC-Q102屬于光電類離散器件標準，作為智能傳感器的代表之一的車載激光雷達，其內部核心器件光源及探測器就屬于必過該項目，國內很多認證機構(如廣州計量、賽寶實驗室、宜特)也建立了對應測試項目和資源，車廠也認可，完全屬于車規認證范疇。

意見采納情況：

采納。

深圳市歡創科技有限公司

修改意見：

建議我市大力加強面向機器人行業的智能傳感器的建設和投資，對于傳感器模組廠商，可以建議放低門檻，將年度采購量超200 萬臺，單價超70 元的模組，也可以列入補貼對象。

意見采納情況：

采納。將調整政策資助門檻。

深圳幀觀德芯科技有限公司

修改意見：

1、建議圍繞我市產業發展需求、結合國內現有建成的MEMS產線類型，進行有差異、更精準的MEMS產線建設支持。

說明：MEMS傳感器包含聲學、 壓力、 氣體、 溫度、 紅外、 CMOS圖像等不同應用類型。現階段國內MEMS生產線主要集中于長三角和環渤海灣區域，如賽維電子、中芯國際、上海先進半導體、華潤微電子等。相較之下，粵港澳大灣區在MEMS傳感器產線布局相對落后，這與我市消費電子（智能終端）、汽車電子（新能源汽車）、醫療電子（醫療影像設備）產業在MEMS傳感器上的巨大需求不相稱；另一方面，一種MEMS芯片對應一種制造工藝，和集成電路芯片全然不同，因此建議在本征求意見稿第（一）、（二）條“積極參與MEMS產線建設并扶持MEMS產線穩健運營”基礎上，重點圍繞我市產業發展需求，進行更精準地支持。

2、MEMS傳感器是將一顆MEMS芯片與一顆專用集成電路芯片(ASIC芯片)封裝在一起后形成的器件。在支持MEMS芯片產線建設和運營的基礎上，建議同步支持ASIC芯片制造產線的建設。

說明：目前，ASIC芯片制造產線主要集中于長三角地區，粵港澳大灣區有一定差距。MEMS產線建設的同時， ASIC芯片產線的建設和運營至關重要，其中集成電路的制造工藝具有相似性，不同用途的ASIC芯片可共享（中試、量產）產線工藝和設備，因此支持集成電路產線建設，將更好地為我市傳感器設計企業提供中試、量產等核心制造服務能力。

3、建議加強公共服務能力建設的同時，大力支持本市智能傳感器先進封裝測試平臺的建設和運營。

說明：MEMS芯片產線建設的同時，配套AISC芯片和封裝產線，能在基礎設施建設上更好地構建我市智能傳感器產業核心技術競爭力、提升效率。

4、建議擴大示范應用的場景范圍，如工業制造控制、無人駕駛、智慧醫療、物流運輸、智能家居等。

說明：征求意見稿第（八）條中，對于應用場景和示范項目建設范圍主要集中在智慧城市治理等方面。深圳市推動城市治理智慧化的確需要大量智能傳感器；與此同時，結合我市產業優勢及趨勢，在制造業數字化轉型方面，如工業制造控制、無人駕駛、醫療健康等領域，以及物流運輸、智能家居等行業亟需大量智能傳感器，因此建議增加應用場景和示范項目建設范圍。

5、建議加大國內精密儀器研發與生產企業的支持力度，結合光明科學城“大科學裝置建設需求、高校科研院所實驗室需求”，引入國產自主研發的高端傳感器設備，與國際精密制造業先進企業及相關院所相結合，最終推動建設精密儀器產業基地和示范基地。

說明：征求意見稿第（十）條提出，聯合國際精密制造業先進企業及相關院所，全鏈條引進精密儀器產業中先進的機械設計、工藝開發、精密制造、管理規范等方面的技術、設備、人才及理念”。而精密儀器技術要求高、加工難度大、產量小單價高，國際先進精密儀器企業在國內大多通過代理銷售，或由國內提供組裝和售后服務，較難實現全鏈條包括其中核心研發生產環節的引入。《廣東省培育精密儀器設備戰略性新興產業集群行動計劃（2021-2025 年）》中提出，當前許多國外高端精密儀器、核心元器件和技術引進受阻，亟待快速發展能夠替代進口的國產化精密儀器設備，國內精密儀器的自主研發尤為重要。因此建議加大國內精密儀器研發生產企業與國內大科學裝置、科研院所需求的聯合支持力度。

意見采納情況：

1.采納。將在中試線建設方案中明確目標產品品類。

2.采納。將在中試線建設方案中明確需兼容CMOS工藝。同時，我市也在積極推動相關集成電路產線項目。

3.采納。將在中試線建設方案中，同步提出相關封測能力建設要求。

4.采納。將統籌結合其他企業意見，擴大領域范圍。

5.部分采納。政策實施目標主體是深圳企業。一方面，政策中已設計對自主研發，解決材料、裝備等“卡脖子”問題的支持政策條款。另一方面，我市現有技術改造等政策，也支持企業引進高端設備，進行技術升級改造。

深圳市意普興科持有限公司

修改意見：

1、措施第一條第一款及第二款中MEMS只是學術的概念，微型沒有明確的定義，比如激光雷達傳感器、光柵傳感器屬不屬于措施中“MEMS“的范疇。我們建議應明確界定，以方便相關企業了解政策、享受政策。目前激光雷達、光柵傳感是自動化行業的必用的傳感器件，對實現2025智能智造意義重大，建議將這類傳感器也納入到支技發展的政策中。

2、措施第三條第十一款中“鼓勵下游傳感器應用企業聯合傳感器研發企業聯合申報”比如下游企業是讓其他企業貼牌生產傳感器然后再賣出去，這種屬不屬于措施中的應用范疇，建議明確界定。

3、建議對享受政策的最低標準結合產業投資的投資現狀，適當考慮降低最低門檻。以便讓更多企業享受政策，助力相關企業快速成長。

意見采納情況：

1、采納。第一、二款是支持MEMS產線建設，再政策文本的其他條款支持范圍沒有排除其他類型的傳感器。

2、采納。將在后續政策執行中，做出相關界定。

3、采納。將結合產業現狀，擬定具體執行門檻。

深圳煜煒光學科技有限公司

修改意見：

第三部分”強化應用市場牽引發展能力”中的第（八）條“支持打造應用場景形成示范應用”中的涉及的領域建議是否可以增加“智慧無人工廠”及“地理信息測繪”領域。“智慧無人工廠”及“地理信息測繪”也是在智慧城市建設中亟需且量大的應用領域，而激光雷達是這兩個應用領域中需要使用到的智能傳感器。

意見采納情況：

采納。將統籌結合企業共同意見，調整支持領域。

奧比中光科技集團股份有限公司

修改意見：

一、構建產業核心技術競爭能力（七）鼓勵開展車規認證“鼓勵智能傳感器相關企業開展AEC-Q100（IC）、101（分立器件）、200（被動組件）可靠度標準、ISO/TS 16949體系的培訓與認證，按照培訓和認證費實際發生額的50%給予補貼，最多補貼兩年，補貼金額每年最高不超過100萬。”

修改建議：鼓勵智能傳感器相關企業開展AEC-Q100（IC）、101（分立器件）、102、103、200（被動組件）可靠度、IEC60825等標準，以及ISO/TS 16949體系的培訓與認證，按照培訓和認證費實際發生額的50%給予補貼，最多補貼兩年，補貼金額每年最高不超過100萬。理由：AEC-Q102、103是激光雷達等傳感器的主要標準之一，IEC60825是光學類傳感器的強制性標準。

另外，目前像激光雷達行業的車規仍沒有形成統一的要求，所以不排除在未來5年里面有一些變化，因此建議增加“等”，避免以后車規標準有新增或者減少。

二、強化應用市場牽引發展能力（十一）鼓勵下游應用企業牽頭開展聯合攻關“鼓勵下游傳感器應用企業聯合傳感器研發企業聯合申報，采取競爭性遴選、事后資助方式，對單顆年度采購量超過1500萬顆、單顆售價超過5元，或單顆年度采購量超過200萬顆、單顆售價超過40元SoC（系統級芯片）、SiP（系統級封裝）等形態的傳感器芯片；或單套年度采購量超過1.5萬臺、單套售價超過5000元的智能傳感器模組，若應用企業、研發企業均為深圳本地企業，給予應用企業年度采購額10%的一次性獎勵，企業年度獎勵總額不超過2000萬元；若應用企業為外地企業，但傳感器研發企業為本地企業，給予研發企業同等標準獎勵。”

修改建議：鼓勵下游傳感器應用企業聯合傳感器研發企業聯合申報，采取競爭性遴選、事后資助方式，對單顆年度采購量超過100萬顆、單顆售價超過5元，或單顆年度采購量超過20萬顆、單顆售價超過40元SoC（系統級芯片）、SiP（系統級封裝）等形態的傳感器芯片；單套年度采購量超過1.5萬臺、單套售價超過5000元或單套年度采購量超過50萬臺、單套售價超過300元的智能傳感器模組，若應用企業、研發企業均為深圳本地企業，給予應用企業年度采購額10%的一次性獎勵，企業年度獎勵總額不超過2000萬元；若應用企業為外地企業，但傳感器研發企業為本地企業，給予研發企業同等標準獎勵。理由：1、智能傳感器與普通傳感器相比，仍處于應用不斷擴展階段，針對不同應用領域的定制化程度較高，因此單一模組以及單一芯片的需求量不會特別大。此外，傳感器底層芯片種類繁多，單個模組中包含多個芯片，并且傳感器芯片普遍單價較底。基于上述原因，建議將單顆芯片的年度采購量降低，降低準入門檻，特別是一些新型智能傳感器企業也可以獲得政策紅利，加速其發展。2、智能傳感器模組的成本正在逐漸降低，像智能視覺相關的模組比如3D視覺傳感器、激光雷達等未來將都會降到5000元以下，在更加普通的消費電子、工業等應用領域，傳感器模組的單價甚至大都在幾百元，因此建議在模組方面增加數量更多、單價更低的選項。

三、強化應用市場牽引發展能力（十二）支持先進制造業產業基金重點支持智能傳感器產業發展。“在先進制造業產業基金中預留不低于50億元資金重點支持智能傳感器產業發展，基金資金投資本地智能傳感器企業投資額不低于總投資的一半，投資智能傳感器生產制造型企業投資額不低于總投資的一半。”

修改建議：在先進制造業產業基金中預留不低于50億元資金重點支持智能傳感器產業發展，通過設立母基金和直接投資的形式，聯合智能傳感器龍頭企業共同投資。其中，投資本地智能傳感器企業投資額不低于總投資的一半，投資智能傳感器生產制造型企業投資額不低于總投資的一半。理由：措施中未提供基金具體支持形式，多樣化的基金支持，更有利于應用市場的牽引。

四、強化應用市場牽引發展能力（十三）支持行業組織發展“鼓勵我市具備行業龍頭地位、具有較強研發實力的智能傳感器產業鏈上下游企業牽頭組建智能傳感器產業聯盟、協會等行業組織，支持行業組織打造專業論壇、展會，開展促進行業發展的專業服務活動。”

修改建議：鼓勵我市具備行業龍頭地位、具有較強研發實力的智能傳感器產業鏈上下游企業牽頭組建智能傳感器產業聯盟、協會等行業組織，支持行業組織打造專業論壇、展會，支持行業組織制定發布的行業標準并推廣應用，開展促進行業發展的專業服務活動。理由：標準是強化索引的重要動力，應該予以支持。

意見采納情況：

一、采納。已補充相關車規級認證標準的支持。

二、采納。將適當降低政策資助門檻。

三、采納。將在基金設立方案中統籌考慮。

四、采納。

深圳市傳感器與智能化儀器儀表行業協會

修改意見：

1.第（一）條，“支持在深建設 MEMS（中試、 量產） 產線”，建議此句前面插入“以政府牽頭、企業參與的模式”。

2.第（二）條，“扶持 MEMS（中試、量產）產線穩健運營”，建議修改為“扶持 MEMS（中試、量產）產線和專業孵化器穩健運營”。（理由：傳感器行業涉及的鏈條很長，創業難度較大。專業孵化器可以在很多方便給與創業公司指導）

3.第（二）條，“單個項目（ 企業法人實體） 最多補貼 5 年”，建議此句前面插入“對首輪流片給與一定的補貼”。（理由：傳感器單片價值較小，無法直接套用首臺套政策。而首輪流片對于傳感器的量產有著重要意義）

4.第（三）條，“依托傳感器產業上下游企業、協會和研究機構”，建議此句前面插入“由政府牽頭”。

5.第（四）條，“支持建設示范智能傳感器專業園區”，建議修改為“支持龍崗、坪山、寶安、光明等區建設示范智能傳感器專業園區”。（理由：龍崗擁有華為基地先進制造示范區，坪山在建安培龍智能傳感器產業園，寶安在建大灣區傳感谷，光明在建光明科學城）

6.第（五）條，建議結尾處增加“對于軍民融合的涉密項目的配套資金支持，可簡化申報材料”。（理由：軍工項目很多材料涉密，不便按普通項目標準提交申報材料）

7.第（六）條，建議結尾處增加“鼓勵企業顛覆式創新，采用與國外同類產品不同的新的技術路線”。

8.第（七）條，“鼓勵開展車規認證”，建議修改為“鼓勵開展可靠性試驗與認證”。

9.第（七）條，“200（被動組件）可靠度標準”，建議此句后面插入“EMC（電磁兼容）、CCC、UL”。

10.第（八）條，“在智慧水務、能源環保、公共交通、自然環境監測、治安防范、健康養老等領域開展應用場景開發和示范項目建設”，建議修改為“在智慧城市、消費電子、汽車電子、先進制造、能源環保、自然環境監測、生命健康、海洋經濟等領域開展應用場景開發和示范項目建設”。（理由：新增應用領域均為深圳優勢特色產業，也是傳感器典型應用場景。智慧水務、公共交通、治安防范同屬智慧城市，健康養老建議修改為生命健康，范圍更廣。深圳正在建設海洋大學、深海科考基地，海洋產業市場規模約3000億元，預計未來5年將達到5000億元。海洋產業應用的生物/生化要素傳感器、光學傳感器等產品研發周期長、成本高、門檻高。目前海洋產業應用的國產傳感器幾乎為零，例如6000米水深應用的甲烷/二氧化碳氣體傳感器進口價格高達40萬元/個，海鳥公司生產的一款浮標傳感器價格高達50萬元/臺）

11.第（九）條，建議結尾處增加“對中標產品給與補貼”。

12.第（十）條，“全鏈條引進精密儀器產業中先進的機械設計、工藝開發、精密制造、管理規范等方面的技術、設備、人才及理念”，建議此句后插入“推動生產線自動化改造，推廣智能制造，降低生產成本，提高產品可靠性”。

13.第（十一）條，“鼓勵下游傳感器應用企業聯合傳感器研發企業聯合申報”，建議修改為“支持產業鏈對接平臺建設，鼓勵下游傳感器應用企業聯合傳感器科研院所、研發企業聯合申報”。

14.第（十一）條，“單套售價超過 5000 元的智能傳感器模組”，建議此句后面插入“或年采購國產傳感器總額超過5000萬元”。

15.第（十二）條，建議結尾處增加“支持MEMS投融資平臺建設，鼓勵產融合作，形成財政資金、金融資本、社會資本多方投入的融資格局”。

16.第（十二）條，“支持行業組織打造專業論壇、展會”，建議修改為“由政府主辦，行業組織承辦智能傳感器專業品牌論壇、展會，打造深圳市智能傳感器城市名片”。

意見采納情況：

1.第（一）條，部分采納。我局一直牽頭積極推動智能傳感器MEMS有關產線建設：如我局已實地走訪備選運營主體，已與相關單位進行了多輪溝通、洽談，積極細化完善建設方案；已掌握我市智能傳感器企業中試技術需求的一手信息；已加快選定MEMS中試線落地場地。但產線的具體建設還是要以市場化機制為主，激發企業主體活力。

2.第（二）條，不采納。本政策制定主要瞄準市場失靈、失位環節以及政府助力可以加速產業發展的環節。對于市場化等方式可以解決的問題，主要交給市場解決。

3.第（二）條，不采納。我市現有集成電路政策已有流片支持條款。現有政策可以支持的條目不在本政策中重復體現。

4.第（三）條，部分采納。我局一直牽頭積極推動相關工作，遴選牽頭單位并給予大量的指導工作。但具體機構的穩健運營要由市場化機制實現。

5.第（四）條，采納。

6.第（五）條，不采納。項目申報應當有統一標準，涉密項目可通過涉密渠道申報。

7.第（六）條，部分采納。政策中并未排斥企業采用顛覆式技術或采用國外同類產品不同的技術路線。

8.第（七）條，部分采納。本政策條款明確政策導向，解決車規級、工業級等領域傳感器緊缺的問題。

9.第（七）條，采納。具體支持認證標準將在具體申報指南中體現。

10.第（八）條，采納。將結合其他企業共同意見，擴大領域范圍。

11.第（九）條，不采納。不符合公平競爭規則。

12.第（十）條，部分采納。政策聚焦，主要是針對和傳感器領域密切相關的精密儀器核心產業環節。

13.第（十一）條，不采納。主要是為產業鏈上下游聯合解決市場需要解決的產業化問題，企業可自主選擇是否和科研院所合作。

14.第（十一）條，采納。已調整獎勵支持門檻。

15.第（十二）條，采納。

16.第（十二）條，部分采納。我局一直積極指導有關機構開展論壇、展會工作，但具體論壇、展會的舉辦要以市場化機制運作為主。

深圳市羅迪傳感科技有限公司

修改意見：

1、建議把濺射薄膜這種技術在文件上明確到屬于MEMS技術的一種。因為很多政府的工作人員并不懂技術，很多專家，包括深圳壓力傳感器協會的企業他們都不掌握濺射薄膜技術，會把濺射薄膜這種先進技術被排除到智能傳感器之外。

2、對于措施中的第一條“健全技術實現公共服務能力”這里面的措施，最終會證明這沒啥用，這種補貼蘇州在10年前就用過這一招，他們的MEMS產業園到現在為止都沒有培養出行業內有影響力的公司。真正有技術的公司是絕對不會外包這些工藝給第三方代工的，傳感器的好壞在工藝控制，不在于理論有多高深，這就是為啥國家每年專項資金投入到傳感器不少（持續投入了十幾年），到現在為止都做不出高端的傳感器，建議深圳不要走這條走不通的老路。傳感器的研發是一個技術和工藝結合的工作，做1000個挑一個好的容易，要做1萬個里沒有一個是壞的很難。

3、建議重點補助那些真正從事研發傳感器的公司，可以配套資金補助，可以從運營和設備購買上來補助；

4、建議對主營為傳感器的公司在銷售收入上進行配套補助；

5、建議成立傳感器產業園，對進駐的企業在裝修、租金、環保上進行扶植；

6、出臺政策應該有操作性，而且能夠最大化社會效益和經濟效益，建議貴部門把政策做詳細一點，減少一些灰色空間，出現企業不支付灰色支出就拿不到補貼這種情況。

7、濺射薄膜技術也屬于MEMS里面的一種，都是微機電芯片制造，在很多性能指標上優于傳統的MEMS壓力傳感器。濺射薄膜大批量制造技術，國內企業目前并不掌握，只有國內的一些電子研究所在為軍工企業生產少量的壓力傳感器（他們不掌握大批量制造技術，所以無法量產），無法做到真正的國產替代解決“卡脖子“的問題。

意見采納情況：

1、采納。將充分吸取各方專家意見進行評判。

2、不采納。經前期調研，深圳迫切需要一條MEMS中試線，幫助一批中小企業、初創企業獲得快速成長機會，同時兼顧重點企業的部分量產需求。

3、部分采納。我市已有技術改造相關政策，可以在符合條件的情況下，支持購買設備等技術改造活動。

4、不采納。直接無門檻對營收補貼不符合公平競爭規則。

5、部分采納。將推動智能傳感器產業園建設。

6、采納。政策沒有考慮設立灰色空間。

7、采納。將充分吸取各方專家意見進行評判。