前言

浙江省重點實驗室是浙江省科技創新體系的重要組成部分，是支撐國家戰略和打造浙江科技創新、產業發展策源地并舉的高能級科創平臺。7月23日，浙江省科技廳公布2023年第二批全省重點實驗室認定結果，由寧波市科研單位牽頭建設的5家實驗室成功入選。本期讓我們來認識，由西北工業大學寧波研究院牽頭建設的浙江省高性能MEMS芯片規模制造技術重點實驗室。

浙江省高性能MEMS芯片規模制造技術重點實驗室

浙江省高性能MEMS（微機電系統）芯片規模制造技術重點實驗室由西北工業大學寧波研究院聯合寧波博威合金材料股份有限公司、寧波市眼科醫院共同建設。實驗室由我國微納學科奠基者之一、國家級領軍人才、西北工業大學教授苑偉政擔任主任，以國家重大需求為導向，開展具有探索性、前沿性、創新性的技術研究，持續攻關高性能MEMS芯片制造及應用服務難題，為國家航天航空、重大裝備等領域研發更多高性能傳感器芯片。

實驗室充分發揮研究團隊在MEMS研究領域30余年的技術積累，面向智能微系統技術的世界科技發展前沿，圍繞視覺檢測類光學芯片、聽覺檢測類聲學芯片等MEMS高端定制類芯片在規模化制造過程中的卡脖子技術難題，聚焦MEMS芯片制造過程中涉及的特種濾光器件制造工藝等“標準化”MEMS工藝方案，解決MEMS芯片共性關鍵制造技術難題，顛覆傳統MEMS制造工藝非標冗雜的制造模式，突破高性能MEMS芯片制造技術壁壘。

“傳統的芯片就像是大腦，而MEMS芯片則是五官，這類芯片可實現多項感知功能，是構建智能微系統的重要組成，可用于智能制造、醫療診斷、無人裝備等眾多領域。”研究團隊核心成員，西工大寧波研究院智能傳感芯片技術研究中心責任教授虞益挺表示，實驗室面向智能微系統技術的世界科技發展前沿，打通“需求分析—人才匯聚—技術研發—成果轉化”路徑，促進人才鏈、創新鏈、產業鏈深度融合，鍛強技術團隊創新研發硬實力，打造高水平產學研用科創新平臺。“目前我們已經跟寧波市眼科醫院開展合作，將利用光譜成像技術為眼科診療設備裝上自主研制的特種相機，幫助眼底、眼表疾病的早期篩查。”