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天津大學(xué)團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出對(duì)拉伸形變不敏感的可拉伸壓力傳感器

近日,天津大學(xué)微電子學(xué)院智能系統(tǒng)與納米工程實(shí)驗(yàn)室、天津大學(xué)小護(hù)士可穿戴技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合美國(guó)芝加哥大學(xué)團(tuán)隊(duì),成功研發(fā)出一種對(duì)拉伸形變不敏感的可拉伸壓力傳感器。該成果有效解決了柔性壓力傳感器因拉伸形變?cè)斐蓽y(cè)試噪聲的難題。



無(wú)論是元宇宙中真實(shí)世界與虛擬世界的交互,還是智能醫(yī)療中更加仿生的機(jī)器人,越來(lái)越多的領(lǐng)域需要柔性電子皮膚與柔性可穿戴技術(shù)的支持,而其中最重要的就是柔性壓力傳感器的必要技術(shù)支撐。可拉伸壓力傳感器因其共形能力好和生物相容性高,在人機(jī)界面和電子皮膚領(lǐng)域展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景。


然而,困擾科學(xué)與產(chǎn)業(yè)界的難題之一,就是可拉伸的壓力傳感器在拉伸形變的時(shí)候,由于器件拉伸形變?cè)斐蓪?duì)壓力測(cè)試的干擾噪聲無(wú)法去除。因此,可拉伸壓力傳感器可以在人體皮膚和軟體機(jī)器人皮膚表面有效地監(jiān)測(cè)壓力,而器件的拉伸形變會(huì)干擾壓力檢測(cè)的準(zhǔn)確度。天津大學(xué)微電子學(xué)院智能系統(tǒng)與納米工程實(shí)驗(yàn)室(天津大學(xué)小護(hù)士可穿戴技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室)(鄒強(qiáng)團(tuán)隊(duì))聯(lián)合美國(guó)芝加哥大學(xué)團(tuán)隊(duì),成功研發(fā)出一種新型的不受拉伸形變影響的可拉伸壓力傳感器。


該傳感器利用可拉伸離子凝膠材料作為壓力傳感介電層的獨(dú)特機(jī)理,結(jié)合微米尺度的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與力學(xué)設(shè)計(jì),將器件的拉伸形變與壓力檢測(cè)中的壓縮形變解耦,實(shí)現(xiàn)了在50%應(yīng)變范圍內(nèi)98%的壓力檢測(cè)的對(duì)拉伸不敏感度。同時(shí),該壓力傳感器的最低檢測(cè)限低至0.2 Pa,且可以在有預(yù)壓力(1 kPa)的情況下,準(zhǔn)確檢測(cè)30 Pa的壓力增量。另外,該傳感器可以在500次重復(fù)拉伸下,仍然保持與初始狀態(tài)基本一致的壓力傳感性能與對(duì)拉伸不敏感度。


基于本傳感器優(yōu)異的壓力傳感性能,本研究工作還展示了可拉伸壓力傳感器作為電子皮膚為軟體機(jī)械手提供觸覺(jué)反饋,并成功用于遠(yuǎn)程診療的閉環(huán)控制系統(tǒng)中,這為未來(lái)的智慧康養(yǎng)等重大民生問(wèn)題提供了有利的科技支撐,未來(lái)的市場(chǎng)應(yīng)用前景廣闊。


該研究成果《一種用于皮膚表面的不受拉伸形變影響的可拉伸壓力傳感器》(A stretchable and strain-unperturbed pressure sensor for motion-interference-free tactile monitoring on skins)于11月24日在線發(fā)表在《Science Advances》(DOI:10.1126/sciadv.abi4563)上。天津大學(xué)微電子學(xué)院博士生蘇奇與其導(dǎo)師鄒強(qiáng)副教授為論文共同第一作者。

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