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探索 SMM3000X 系列源測量單元:半導體測試的得力助手

電子測試測量領域,對于高精度、多功能測量儀器的需求日益增長,特別是在半導體特性分析等關鍵應用場景中。SMM3000X 系列源測量單元(SMU)儀器應運而生,憑借其出色的性能和豐富的功能,為相關領域的測試工作帶來了新的解決方案。


SMM3000X 系列具備多項卓越的主要特性。它擁有 6? 顯示位數(2,100,000 count),這意味著能夠提供極為精確的測量讀數,幫助研究人員獲取更精準的數據。100,000 points/s 的最大采集速率,使其可以快速捕捉信號變化,在對高速變化的信號進行采集時表現出色。而且,該系列儀器最小編程及測量分辨率可達 10fA / 100nV ,能夠滿足對微弱電流和電壓信號的精確測量需求,在納米級器件和材料等對精度要求極高的測試場景中發揮重要作用。其最大輸出可達 ±210V / ±3A (DC) /±10.5A (pulsed),為不同的測試對象提供了充足的動力支持。


SMM3000X 系列源測量單元(SMU)儀器


該系列的產品優勢十分顯著。在高精度脈沖模擬方面,脈沖模式下支持 ±10.5A 的脈沖電流輸出,最小脈寬僅 50μs。這一特性對于功率半導體器件研發和測試意義重大,比如在 GaN(氮化鎵)、SiC(碳化硅)器件的開關損耗測試中,能夠精準模擬其瞬態工況,為優化器件性能提供關鍵數據支持。

線性 / 對數掃描功能也為使用者帶來了極大便利。它可以依據用戶預設的起始點至終止點,以固定的步進值逐點輸出電壓或電流,同時自動測量并記錄每個點的值。這使得驗證二極管、晶體管等半導體器件在不同工作點下的特性變得輕松,有助于研究人員獲取導通特性曲線,進而對器件進行性能分析和優化。

SMM3000X 系列的列表模式支持用戶自定義輸出序列,最小間隔能達到 10μs,參數變化方式多樣,無論是線性、非線性,還是任意值或自定義順序都能實現。這種靈活的自定義序列功能,讓儀器適用于各種不規則的電壓 / 電流變化測試或多段測試場景,滿足了復雜測試需求。

數據可視化分析功能是 SMM3000X 系列的又一亮點。它提供了 Graph 視圖、Roll 視圖和測量結果視圖等多種視圖模式。通過 Graph 視圖,用戶能夠實時繪制數學運算結果曲線;Roll 視圖用于顯示測試數據的時域波形;測量結果視圖則可獲得跡線統計結果。多維度的參數分析方式,讓用戶能夠更直觀地理解和分析測試數據,快速發現數據背后的規律和問題。

此外,SMM3000X 系列基于先進的 SCPI 命令集,支持通過 USB、LAN 接口與計算機通信,實現高效便捷的遠程控制。用戶既可以通過網頁 Web Server 輕松操控儀器,也能結合 SCPI 命令進行深度自定義編程,還可利用 Socket 通信技術,通過 TCP/IP 協議與儀器進行網絡交互,滿足多樣化的測試需求,提升測試工作的靈活性和效率。

從產品參數來看,SMM3000X 系列在各方面都表現出色。最大單路輸出電流為 ±3.03A,最大單路輸出電壓 ±210V,最大輸出功率 31.8W,通道數有 1 通道和 2 通道兩種選擇。在脈沖特性上,±10.5A 的脈沖電流和 50μs 的最小脈寬表現優異。電流量程為 10nA - 3A,電壓量程 200mV - 200V,對應的電流和電壓分辨率分別為 10fA 和 100nV ,在編程和測量精度上也達到了較高水準。顯示方面采用 5 英寸 TFT 觸控屏,分辨率 800*480,操作方便直觀。同時,它具備豐富的接口,包括 USB Host、USB Device、LAN、Digital IO,還可選配 GPIB 接口,方便與其他設備連接和數據傳輸。


對比市場上同類型產品,如 keysight B2900B 系列、keysight B2901BL、Keithley 2460 和 Keithley 2450 等,SMM3000X 系列在輸出通道、顯示位數、最大電壓 / 電流 / 功率、脈沖特性、采集速率、編程分辨率、測量分辨率、功能匯總以及價格等方面都有自身的優勢和特點,為用戶提供了更多選擇。

SMM3000X 系列源測量單元儀器憑借其強大的功能、高精度的測量以及靈活的操作方式,在半導體特征分析、納米級器件和材料測試等領域具有廣闊的應用前景,是電子測試測量領域的有力工具。

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