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萊伯泰科董事長胡克:國產儀器努力做到飛必沖天,鳴必驚人

隨著貿易摩擦日益加重,由此引發的中美科技之爭給世界分工帶來了巨大沖擊。宏觀來看,“十四五”規劃文件牽引、地方政策支持、國產采購傾斜、支持國產儀器發展已經成為政府、市場以及公眾的共識。巨浪之下,國產儀器如何發展?如何打破壟斷、解決“卡脖子”難題?


近兩年,北京市“專精特新”企業北京萊伯泰科儀器股份有限公司(股票代碼:688056.SH,以下簡稱“萊伯泰科”)的發展駛入快車道,公司于2020年成功登陸科創板,讓更多行業外的人士知道了什么是實驗分析儀器行業;緊接著又在2021年發布質譜新品,強勢進軍高端分析儀器領域,以發展高端儀器產業、助力中國制造騰飛為己任,銳意突破,不斷進行產品革新。我們知道,發展國產高端分析儀器的道路必定不易,萊伯泰科創始人胡克博士是如何看待并規劃的呢?



1、高端產業的發展,離不開尖端分析儀器


分析儀器,被稱作科學家的“眼睛”,也被比喻為高端制造業皇冠上的明珠,是制造業發展中的咽喉行業。儀器儀表行業單從生產規模來講,算不上大行業,但是它的重要性和戰略性不能簡單以生產規模來衡量。中國光學和儀器儀表及計量科教事業的奠基人之一、兩院院士王大珩曾經指出,儀器儀表是認識未知世界的科學工具,也是控制生產過程的工具,是工業生產的“倍增器”。在制造業中,想要生產出合格的產品,從原料控制到成品質量控制,都需要儀器儀表進行測量。在高端產業中,要生產出尖端的產品,更是離不開最尖端的分析儀器,并且產業越高端,對于分析儀器的要求就會越嚴格,近乎苛刻。


近幾年來,隨著我國產業升級速度的加快,各行各業對于高端分析儀器的需求亦不斷增長。我們僅以理化分析儀器及裝備(包含質譜)的進口額為例,從2017年到2021年,我國每年的進口額都在600億元左右,而且逐年穩步增長,即便是疫情期間也絲毫未受影響。


我國儀器儀表發展規模雖然不斷擴大,但是一直存在基礎研究薄弱、產品可靠性和穩定性低、以中低端產品為主等問題,高端儀器儀表、核心零部件等長期依賴進口。我國儀器儀表產品一直處于進出口貿易逆差的狀態,逆差每年都在150億美元以上,是機械制造業中逆差最大的行業之一。



2、國產儀器在半導體行業舉步維艱


目前我國各行業中使用的質譜類儀器,幾乎全部依賴進口。尤其是自中美貿易戰以來全國上下共同關注的半導體行業,檢測中必須具備的電感耦合等離子體質譜儀ICP-MS幾乎百分之百來自于進口品牌。雖然國家在多個層面支持國內半導體行業的自主創新發展,然而,半導體行業中所用ICP-MS全面依賴進口依然是個不爭的事實。


在半導體行業中,ICP-MS被廣泛應用于高純材料、高純化學品以及生產過程中雜質含量的監控。從應用角度來講,半導體行業需要同時檢測的元素范圍非常廣。因為無機元素雜質會對集成電路造成危害,比如堿金屬與堿土金屬(Li、Na、K、Ca、Mg、Ba等)污染會造成元器件漏電,造成低擊穿;過渡金屬與重金屬(Fe、Cr、Ni、Cu、Au、Mn、Pb)污染會增大工作時的暗電流進而縮短元器件壽命;滲透元素(S、P、Si、As、Sb、B、Al等)污染具有擴散作用,會影響電子和空穴的數量。除了需同時檢測輕、中、重元素外,隨著集成電路對線寬的要求越來越嚴苛,對濕電子化學品的要求也越來越高,對有害粒子含量要求從10-6(ppm)發展到了10-9(ppb)甚至10-12(ppt),因此半導體行業需要檢測儀器具有極高的靈敏度。


由于行業具有的特殊性,半導體行業對ICP-MS儀器本身也具有極高的準入門檻要求,從儀器性能到儀器的安全可靠性,都有極為嚴格的規定。


首先,在儀器性能方面,ICP-MS必須做到從Li到Pb,從輕元素、中元素到重元素的快速檢測;能到達ppt級別的檢出能力;針對高Si基體樣品檢測時的長期穩定性和重現性,每周7*24小時不間斷運行;特殊情況下需要儀器冷焰、熱焰快速穩定切換,高通量多元素準確檢出;對整機及內部部件的潔凈度、耐腐蝕性要求極高等等。


其次,半導體行業對ICP-MS的安全可靠性方面也有著特別的要求。ICP-MS首先必須通過半導體工業的全球執行聯盟(SEMI)的SEMI S2認證,這是一套適用于半導體及平面顯示器制造設備的環境、安全及健康的效能的標準,半導體業者為了降低機械危害的風險,在采購設備系統時,將 SEMI S2 安規認證列為必備的規格要求。另一方面,半導體制造企業在水、電、氣、化學溶劑、真空射頻、微波、射線和高能粒子等方面也都提出了更高的要求。


最后,半導體行業對于廠商服務水平的要求也遠高于其它行業,例如必須24小時“on call”隨叫隨到,必要時需要工程師及時駐場;儀器出現故障必須在48小時之內修好,或者提供備用機服務;儀器安裝時需要提供全部待檢測化學品的分析方法,幫助用戶提前建好分析方法;提供儀器與其它自動化進樣設施的連接方法,包括硅片前處理裝置、化學品在線進樣裝置等。


上述半導體行業對分析儀器及廠商的極高要求,最終體現在對儀器生產企業的生產技術、應用水平、售后響應速度等整體實力的要求上。而我國科學儀器行業整體技術實力與國外廠商相比還有明顯差距,創新能力偏弱,這就造成了進口品牌在半導體行業獨占鰲頭的局面。


3、萊伯泰科潛心打造國產ICP-MS第一品牌,努力破局


如何破局?如何打破進口品牌在半導體行業的壟斷?萊伯泰科一直在行動,在努力發展自主創新,保持埋頭苦干的同時,也密切關注著整個行業的動向,時刻保持著抬頭看路的清醒。從2019年開始,萊伯泰科便著手組建了一支優秀的ICP-MS研發團隊,投入大量資金和人員,努力以自有技術攻破壁壘,以打造國產ICP-MS第一品牌為目標,在儀器的智能化、系統化、自動化方面創新突破以實現差異化的發展。


不論是技術儲備還是對ICP-MS的深刻理解,萊伯泰科都有著得天獨厚的優勢。萊伯泰科董事長胡克博士師從ICP-MS發明人Houk教授,對于ICP-MS有十五年的深入研究,并且取得了很多成績,例如他在全球率先采用了偏轉型的離子透鏡,拋棄了當年的擋光板,能更加有效地阻擋光子的進入,目前幾乎所有的商用ICP-MS都采用偏轉離子透鏡的方法;其次,將進樣錐口的孔徑增大至1.1mm同時設計分級真空提高抽速,不僅使更多的離子進入質譜同時還降低了干擾,提高了檢測靈敏度和適用性;最后一點,胡博士還設計了一種接口處加電壓的方法,讓進入離子本身具有更高動能,如今市場上的高靈敏質譜就采用這一技術。這一系列的開創性工作,為許多儀器公司開發質譜的技術提供了依據和參考。


在這次ICP-MS的研發過程中,萊伯泰科對半導體行業進行了細致入微的研究和調查,并與多家國內著名半導體企業開展技術合作,終于,在2021年5月18日,萊伯泰科正式推出了首臺LabMS 3000 電感耦合等離子體質譜儀。



LabMS 3000在整機設計、進樣系統材料、錐接口、錐材料以及碰撞反應池、冷熱焰模式等方面都做出了獨特的設計和改進。除了通過SEMI S2認證外,也能滿足大部分Wafer Fab企業的高安全要求。


LabMS 3000采用了高穩定性和高耐受性的質譜硬件,可以提供良好的基體耐受性,帶來了新一代的高性能、長壽命檢測器,采用脈沖、模擬雙模式同時型電子倍增器,可在一次運行中實現常量元素(數百或數千 ppm)與痕量元素(ppt 或亞 ppt 級)的直接分析,簡化分析方法和分析時間。LabMS 3000還具有三種高性能去除質譜干擾功能,包括質量校正方程、冷焰模式和第四代碰撞池技術,可消除棘手的多原子和雙電荷離子干擾,避免降低數據質量,同時可減少高成本的樣品重新測量需求。


LabMS 3000配備的HiMass 軟件,是軟件團隊專為中國用戶打造的軟件平臺,擁有良好的邏輯性和便捷性。HiMass采用直觀的任務導航欄和工具欄,把智能與流程化相結合引進到儀器控制與操作流程上,更符合中國人操作習慣,并可以確保高效、準確的運行與分析結果,支持中英文語言實時切換、數據上傳、接入實驗室管理系統和定制報告格式模版。HiMass軟件,可以自定義質譜運行日程安排,自動化完成從等離子體點火、自動啟動性能檢查和優化、自動跳轉至方法和序列,完成數據采集和自動生成報告,適用于實驗室的各種分析需求。


除了上述LabMS 3000各種軟硬件的優勢之外,萊伯泰科本身在應用方法的開發和售后服務上,也有自己獨特的優勢。在組建研發團隊的同時也打造了一只技術過硬的應用團隊,針對行業特點開發不同樣品檢測方法的同時,憑借已有的全自動前處理技術,定制化的開發了全自動進樣系統。萊伯泰科歷經近20年的發展,售后服務網絡更是覆蓋了全國,可以提供高質量的售后服務,以滿足半導體行業的特殊需求。


萊伯泰科LabMS 3000上市之初,首發行業選擇的是半導體行業,很多人表示不理解,對于國產儀器進軍半導體行業不看好。但是,胡克博士認為,困難的事情總得有人去做,在這個看實力的年代,需要的是破局的能力和決心,而不是原地踏步、固步自封。萊伯泰科有實力也有決心和信心,做就一定要努力做到最好,飛必沖天,鳴必驚人。“只要我們心存理想,腳踏實地,潛下心來打造國產ICP-MS第一品牌,趕上進口高端分析儀器不會只是一個遙遠的夢。”胡克博士說道。

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