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如何應對低電流、高電容的棘手測試挑戰?

泰克科技公司日前宣布,為Keithley 4200A-SCS參數分析儀推出兩款最新源測量單元(SMU)模塊,即使在由于長電纜和復雜的測試設置而產生高負載電容時,其仍能執行低電流測量。許多主要測試應用都面臨著這一挑戰,如LCD顯示器制造和卡盤上的納米FET器件測試。



在被測器件本身電容很小的情況下,許多低電流測量應用中所需要的測試設置也會增加SMU輸出端的電容。當測試連接電容太大時,最終的低電流測量結果可能會變得不穩定。為解決這些挑戰,新模塊在提供電壓和測量電流時,支持的電纜長度和連接電容都要超過傳統SMU。


最新4201-SMU和4211-SMU是為采用長電纜、開關矩陣、通過柵極接觸卡盤及其他夾具的測試裝置專門設計的。這就讓研究人員和制造測試工程師節省了大量的時間和成本,而這些時間和成本本來可以花費在故障排除和重新配置測試設置上。


“ 因為要降低電流來節省能耗,精細測試裝置所產生的高負載電容正成為一個日益嚴重的問題。在測試智能手機或平板電腦采用的大型LCD面板時,就面臨著同樣的問題。我們的新模塊特別擅長進行穩定的低電流測量,并將立即使我們的許多現有和未來的客戶受益。” 泰克科技公司吉時利系統和軟件總經理Peter Griffiths表示。


在最低電流測量范圍內,4201-SMU和4211-SMU可以提供和測量的系統電容要比當前水平高出1,000倍。


例如,如果電流在1~100pA(皮安)之間,那么最新吉時利模塊可以在低達1μF(微法拉)的負載電容下保持穩定。相比之下,同類產品最多只能容忍1,000pF(皮法)的負載電容,之后測量穩定性就會劣化,這要比最新吉時利模塊差1,000倍。


4201-SMU和4211-SMU在訂貨時可以預先配置一個4200A-SCS,構成全面的參數分析解決方案;也可以現場輕松升級現有的設備,不需把設備發送到服務中心,可望節省幾周的中斷時間。


關于4200A-SCS



4200A-SCS是一種可以量身定制的全集成參數分析儀,可以同步查看電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V特點,加快半導體、材料和工藝開發和制造過程。每臺4200A-SCS可以配置最多9個SMU。該系統的Clarius軟件用戶界面擁有觸控和滑動或點擊控制功能,支持在現代半導體、材料和工藝表征中進行高級測試定義、參數分析、圖表繪制和自動化。


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